深圳12月30日电 (记者 许青青)记者30日从深圳技术大学获悉，该校半导体微纳加工中心与测试平台已于近日正式落成，填补了深圳市在“光载信息”和“智能传感”半导体芯片领域的空白，将为粤港澳大湾区半导体产业高质量发展提供关键支撑。
据介绍，该平台是内地高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。中心建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。是深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，配置120余台套先进教学与研发工艺设备，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系，可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。
深圳技术大学党委书记陈秋明表示，该校半导体微纳加工中心与测试平台依托学校集成电路与光电芯片学院资源，致力于成为集工艺教学、前沿研发、中试验证和产业服务于一体的微纳加工技术研发创新高地和人才培养基地，将加快破解半导体光电产业领域关键核心技术，推动半导体与集成电路领域研究成果的工程化突破、产业化应用、市场化推广。
深圳技术大学还分别与清华大学深圳国际研究生院、深圳平湖实验室、深圳国际量子研究院、南方科技大学深港微电子学院、深圳光峰科技股份有限公司、蓝河科技(绍兴)有限公司、腾璞显示技术(深圳)有限公司、深圳市中科米格实验室技术有限公司等科研院校及机构签约，签约内容涵盖框架协议、联合实验室共建、员工互聘、校外实习实训基地共建及项目合作等。(完)
【编辑:刘阳禾】
